洁净厂房的地板成为整个洁净厂房中重要的组成部分。然而,很多设备经理或工具安装人员,在使用洁净厂房时都会碰到地板带来的麻烦。举个例子,人们要进入地板下面的空间时,就会认识到--由于公差过于精密——需要很大的力量才能打开地板块;然后,在把地板块放回原处的时候,通常地板块无法完全复原,不得不用脚用力在上面跺。而且,潍坊空气净化工程,在使用工具翻开地板块的时候,经常会损坏它们。
摘要 随着IC生产工艺技术的不断发展, 对于无尘车间生产环境及其它配套系统要求也相应更为严格, 本文81'、12',I C 生产的无尘车间设计 中有关无尘车间形 式和送风方式 、空气处理及温湿度保证措施, 悬浮分子污染物(AMC) 的控制, 以及无尘车间排烟等方面的设计方案, 进行了多方案的综合分析和评价。
集成电路(IC)是集多种高新技术于一体的高科技产品,它几乎存在于所有工业部门,对国民经济的发展起着“倍增器”的作用,净化设备总厂空气净化工程部,因此被先进国家作为战略性产业。同时IC产业也是当今世界上发展为迅速、竞争为激烈的产业。由于下游产品的需要以及生产成本的考虑,IC不断朝着特征尺寸缩小,环境空气净化工程,硅片直径增大的方向发展。目前国际上以8”、0.25-0.18微米为代表的工艺已进入大生产,以12”、0.15-0.13微米为代表的工艺也开始进入大生产,研究工作已进入纳米阶段,70纳米、40纳米的器件已在实验室中制备成功。